YS/T980-2014高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。 本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%～4×10-5%。

标准号：YS/T 980-2014

标准名称：高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Determination of impurities of high purity gallium oxide—Inductively coupled plasma-mass spectrmetry

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

起草单位：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部