YS/T983-2014多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数01%～100%。

标准号：YS/T 983-2014

标准名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

中国标准分类号（CCS）：>>>>  >>>>17

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司等

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部