YS/T987-2021氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法

本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围 （质量分数）为 0000 010%～010%。

标准号：YS/T 987-2021

标准名称：氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-12-02

实施日期：2022-04-01

替代以下标准：替代YS/T 987-2014

发布单位：工业和信息化部