YSJ004-1988单晶硅厂工艺设计规范

标准号：YSJ 004-1988

标准名称：单晶硅厂工艺设计规范

标准类型：行业标准

标准状态：现行

实施日期：1997-05-01

中国标准分类号（CCS）：工程建设>>原材料工业及通信、广播工程>>P73冶金工业工程

国际标准分类号（ICS）：77010