辉光放电光谱仪是一种用于材料科学领域的分析仪器。

工作原理

辉光放电光谱仪的工作原理主要是通过辉光放电产牛电子，利用电场加速电子并与中性原子或分子碰撞，激发它们到较高的能级。当这些受激粒子回到基态时，它们会发出特定波长的光，通过光谱仪进行分析和测量。

技术指标

1.分辩率高于0.024nm。

2.有效波长范围：119nm-800nm。

3.*多能实现64个元素同时测定。

4.分析样品厚度范围为：0.1nm-45nm。

功能

1.满足各个复杂基质样品的元素总量分析。

2.进行表面各元素深度变化的定量薄层分析。

3.可完成其他发射光主谱仪从未涉及的样品类型的分析。

特点

1.可以直接分析固体样品，无需将样品转化为溶液或气态。

2.具有较高的灵敏度和较低的检测限，可以检测到低浓度的元素。

3.可以同时分析多种元素，具有较高的分析速度。

4.适用于各种材料的分析，包括金属、合金、半导体等。

组成部分

辉光放电光谱仪主要由以下几个部分组成：

1.电源和控制器

提供所需的电压和电流，控制辉光放电过程。

2.样品室

放置同体样品的地方。

　3.光谱仪

用于分析和测量发出光的波长和强度。

4.数据处理系统

处理和分析测量数据，输出结果。

5.安全保护装置

保护仪器和操作人员安全。