JJF1100-2016平面等厚干涉仪校准规范

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。

标准号：JJF 1100-2016

标准名称：平面等厚干涉仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers

标准类型：国家标准

标准状态：现行

发布日期：2016-11-30

实施日期：2017-05-30

替代以下标准：替代JJF 1100-2003

起草单位：中国测试技术研究院、中国计量科学研究院

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫