JJF1100-2003平面等厚干涉仪校准规范

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准，不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类于涉装置的校准。

标准号：JJF 1100-2003

标准名称：平面等厚干涉仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers

标准类型：国家标准

标准状态：作废

发布日期：2003-05-12

实施日期：2003-11-12

中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A52长度计量

替代以下标准：JJG 336-1983;被JJF 1100-2016代替

起草单位：中国测试技术研究院

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫