GB/T8758-1988砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于002Ω·cm，外延层的电阻率大于01Ω·cm。

标准号：GB/T 8758-1988

标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1988-02-25

实施日期：1989-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：被GB/T 8758-2006代替

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：国家标准局