GB/T8758-2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于002Ω·cm，外延层的电阻率大于01Ω·cm。

标准号：GB/T 8758-2006

标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：替代GB/T 8758-1988

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：国家质量监督检验检疫