GB/T5252-2020锗单晶位错密度的测试方法

本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。 本标准适用于、和面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0 cm-2～100 000 cm-2。

标准号：GB/T 5252-2020

标准名称：锗单晶位错密度的测试方法

英文名称：Test method for dislocation density of monocrystal germanium

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-06-02

实施日期：2021-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

替代以下标准：替代GB/T 5252-2006

起草单位：有研光电新材料有限责任公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、广东先导稀材股份有限公司、中锗科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家市场监督管理总局