GB/T37959-2019含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

本标准规定了含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。 本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

标准号：GB/T 37959-2019

标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

英文名称：Information model for containing process chamber IC equipment design

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2019-08-30

实施日期：2020-03-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J07电子计算机应用

国际标准分类号（ICS）：信息技术、办公机械设备>>信息技术应用>>3524050信息技术在工业上的应用

起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院

归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)

发布单位：国家市场监督管理总局