GB/T32996-2016表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

标准号：GB/T 32996-2016

标准名称：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

英文名称：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：上海市计量测试技术研究院、华东师范大学、中国科学院化学研究所

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家质量监督检验检疫