GB/T31058-2014电子工业用气体四氟化硅

本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管 P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相对分子质量:1040786128(按2009年国际原子相对质量)。

标准号：GB/T 31058-2014

标准名称：电子工业用气体 四氟化硅

英文名称：Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫