GB/T30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

标准号：GB/T 30857-2014

标准名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

英文名称：Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-07-24

实施日期：2015-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料

发布单位：国家质量监督检验检疫