GB/T30856-2014LED外延芯片用砷化镓衬底

本标准规定了 LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于 LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。
标准号:GB/T 30856-2014
标准名称:LED外延芯片用砷化镓衬底
英文名称:GaAs substrates for LED epitaxial chips
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2014-07-24
实施日期:2015-04-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料
国际标准分类号(ICS):电气工程>>29045半导体材料
起草单位:中国科学院半导体研究所、有研光电新材料有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料
发布单位:国家质量监督检验检疫
