GB/T30656-2014碳化硅单晶抛光片

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

标准号：GB/T 30656-2014

标准名称：碳化硅单晶抛光片

英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

起草单位：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国

发布单位：国家质量监督检验检疫