GB/T24469-2009电子工业用气体5N氯化氢

标准号：GB/T 24469-2009

标准名称：电子工业用气体 5N氯化氢

英文名称：Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2009-10-15

实施日期：2009-12-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 14602-2014代替

起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所

归口单位：469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫