GB/T24468-2009半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

标准号：GB/T 24468-2009

标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-10-15

实施日期：2009-12-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>1704030测量仪器仪表

起草单位：中国电子技术标准化研究所

归口单位：469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫