GB/T23414-2009微束分析扫描电子显微术术语

本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。

标准号：GB/T 23414-2009

标准名称：微束分析 扫描电子显微术 术语

英文名称：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-04-01

实施日期：2009-12-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：0104037:37020

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家标准化管理委员