GB/T20176-2006表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。

标准号：GB/T 20176-2006

标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

英文名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2006-03-27

实施日期：2006-11-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：清华大学电子工程系

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家标准化管理委员