GB/T20175-2006表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法

本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。

标准号：GB/T 20175-2006

标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2006-03-27

实施日期：2006-11-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：清华大学电子工程系

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家标准化管理委员