GB/T17865-1999焦深与佳聚焦的测量规范

本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。

标准号：GB/T 17865-1999

标准名称：焦深与最佳聚焦的测量规范

英文名称：Specification for measuring depth of focus and best focus

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1999-09-01

实施日期：2000-06-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：SEMI中国标准化技术委员会

发布单位：国家质量技术监督局