GB/T17864-1999关键尺寸（CD）计量方法

本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。

标准号：GB/T 17864-1999

标准名称：关键尺寸（CD）计量方法

英文名称：CD Metrology procedures

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1999-09-01

实施日期：2000-06-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

替代以下标准：GB/T 9043-1988

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量技术监督局