GB/T16878-1997用于集成电路制造技术的检测报告图形单元规范

本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。

标准号：GB/T 16878-1997

标准名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：中国科学院缩微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局