GB/T14146-1993硅外延层载流子浓度测定汞探针电容--电压法

本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。

标准号：GB/T 14146-1993

标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法

英文名称：Silicon epitaxial layers－Determination of carrier concentration－Mercury probe valtage-capacitance method

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 14146-2009代替

起草单位：上海市有色金属总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局