GB/T14140.1-1993硅片直径测量方法光学投影法

本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。

标准号：GB/T 141401-1993

标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法

英文名称：Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704001金属材料试验综合

替代以下标准：被GB/T 14140-2009代替

起草单位：洛阳单晶硅厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局