GB/T11446.5-2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

GB/T11446的本部分规定了无火焰(或火焰)原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铜、锌、镍、铁、铅、钠和钾的测试方法。也可使用灵敏度相当的其他仪器如电感耦合等离子体/质谱仪(或电感耦合等离子体发射光谱仪)测量。无火焰原子吸收分光光度适用于EW-Ⅰ~EW-Ⅲ级电子级水中痕量金属的测定。方法的检出限(质量分数)应在1×10-9以下。火焰原子吸收分光光度法适用于EW-Ⅳ电子级水中痕量金属的测定。

标准号：GB/T 114465-2013

标准名称：电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

英文名称：Test method for measuring trace metals in electronic grade water by atomic absorption spectrophotometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-12-31

实施日期：2014-08-15

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：31-030

替代以下标准：替代GB/T 114465-1997

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所

归口单位：中国电子技术标准化研究院

发布单位：国家质量监督检验检疫