GB/T11446.6-1997电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

本标准规定了电子级水是二氧化硅的分光光度测定方法。本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定，分析下限为1μg/L。

标准号：GB/T 114466-1997

标准名称：电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

英文名称：Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1997-09-01

实施日期：1998-09-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：31030

替代以下标准：GB 114466-1989;被GB/T 114466-2013代替

起草单位：北京半导体器件三厂

归口单位：信息产业部（电子）

发布单位：信息产业部（电子）