JB/T6922-1993真空蒸发镀膜设备
标准号：JB/T 6922-1993
标准名称：真空蒸发镀膜设备
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
实施日期：1994-07-01
中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
替代以下标准：被JB/T 6922-2004代替
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JB/T6922-2004真空蒸发镀膜设备
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。 标准号：JB/T 6922-2004 标准名称：真空蒸发镀膜设备 英文名
JB/T6922-2015真空蒸发镀膜设备
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀
