JB/T6922-2015真空蒸发镀膜设备

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa~5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
标准号:JB/T 6922-2015
标准名称:真空蒸发镀膜设备
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2015-10-10
实施日期:2016-03-01
替代以下标准:替代JB/T 6922-2004
发布单位:工业和信息化部
