JB/T8945-1999真空溅射镀膜设备
JB/T 8945-1999
标准号：JB/T 8945-1999
标准名称：真空溅射镀膜设备
英文名称：Vacuum sputtering coating plant
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：作废
发布日期：1999-07-12
实施日期：2000-01-01
中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术
替代以下标准：被JB/T 8945-2010代替
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
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JB/T8945-2010真空溅射镀膜设备
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。 标
