JB/T8945-2010真空溅射镀膜设备

本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。

标准号：JB/T 8945-2010

标准名称：真空溅射镀膜设备

英文名称：Vacuum sputtering coating plant

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2010-02-11

实施日期：2010-07-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

替代以下标准：替代JB/T 8945-1999

起草单位：广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布单位：工业和信息化部