SJ/T10311-1992低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准号：SJ/T 10311-1992
标准名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件
英文名称：Generic specification of low pressure chemical vapor Deposition system
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1992-06-15
实施日期：1992-12-01
中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
SJ/T10310-1992内圆切片机通用技术条件
标准号：SJ/T 10310-1992 标准名称：内圆切片机通用技术条件 英文名称：Generic specification of wafer slicer 标准类型：行业标准 标准性质：推荐性 标准状态：现行 发布日期：1992-06
SJ/T10311-1992低压化学气相淀积设备通用技术条件
标准号：SJ/T 10311-1992 标准名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件 英文名称：Generic specification of low pressure chemical vapor Deposition system 标准类型：行业标准
SJ/T10312-1992电子束曝光机通用技术条件
标准号：SJ/T 10312-1992 标准名称：电子束曝光机通用技术条件 英文名称：General specification of electron beam exposure system 标准类型：行业标准 标准性质：推荐性 标准状态：
SJ/T10313-1992平行绕线机通用技术条件
标准号：SJ/T 10313-1992 标准名称：平行绕线机通用技术条件 英文名称：General specification of parallel winding machine 标准类型：行业标准 标准性质：推荐性 标准状态：现行 发
SJ/T10314-1992直流四探针电阻率测试仪通用技术条件
本标准规定了直流四探针电阻率测试仪（以下简称四探针测试仪）的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半
