SJ/T10314-1992直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

本标准规定了直流四探针电阻率测试仪（以下简称四探针测试仪）的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。本标准不包括四探针探头标准。

标准号：SJ/T 10314-1992

标准名称：直流四探针电阻率测试仪通用技术条件

英文名称：Generic specification for resistivity measuring instrument with DC four-point probe

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1992-06-15

实施日期：1992-12-01

中国标准分类号（CCS）：石油>>石油综合>>E01技术管理

起草单位：北京建中机器厂、中国计量科学研究院

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布单位：电子工业部