SJ/T10315-1992四探针探头通用技术条件

本标准规定了四探针探头（以下简称探头）的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻的电阴的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。

标准号：SJ/T 10315-1992

标准名称：四探针探头通用技术条件

英文名称：Generic specification for Four-point probe

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1992-06-15

实施日期：1992-12-01

中国标准分类号（CCS）：石油>>石油综合>>E01技术管理

起草单位：国营建中机器厂、中国计量科学研究院

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布单位：电子工业部