SJ/T10481-1994硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法
标准号：SJ/T 10481-1994
标准名称：硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法
英文名称：Test method for resistivity of silicon epitaxial layers by area contacts three-probe techniques
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
中国标准分类号（CCS）：能源、核技术>>能源、核技术综合>>F01技术管理
SJ/T10480-1994导丝焊接设备通用技术条件
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SJ/T10481-1994硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法
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