SJ/T11500-2015碳化硅单晶晶向的测试方法

2025-06-28

本标准规定了利用X射线衍射定向法测定6H、4H等晶型碳化硅单晶晶向的方法。

标准号:SJ/T 11500-2015

标准名称:碳化硅单晶晶向的测试方法

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

发布单位:工业和信息化部

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