SJ/T11503-2015碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。
标准号：SJ/T 11503-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
发布单位：工业和信息化部
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