SJ/T11504-2015碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

本标准规定了碳化硅单晶抛光片表面质量的目视检验方法，观察样品表面的六方孔洞、划痕、凹坑、颗粒、沾污、亮点缺陷、裂纹、崩边的数量并用钢板尺测量划痕的总长度等。

标准号：SJ/T 11504-2015

标准名称：碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部