SJ/T11763-2020半导体制造设备人机界面规范
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。
标准号：SJ/T 11763-2020
标准名称：半导体制造设备人机界面规范
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
发布单位：工业和信息化部
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