SJ/Z2926-1988集成电路制版设备性能测试方法

标准号：SJ/Z 2926-1988

标准名称： 集成电路制版设备性能测试方法

英文名称：Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs

标准类型：行业标准

标准性质：指导性技术文件

标准状态：现行

发布日期：1988-10-01

实施日期：1988-10-01

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550