SJ/Z2927-1988集成电路制版设备名词术语

标准号：SJ/Z 2927-1988

标准名称： 集成电路制版设备名词术语

英文名称：Terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing

标准类型：行业标准

标准性质：指导性技术文件

标准状态：现行

发布日期：1988-10-01

实施日期：1988-10-01

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550