SJ20636-1997IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法

标准号：SJ 20636-1997

标准名称：IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法

英文名称：Test method for oxygen and carbon contents of large diameter thin silicon wafer in microzone for use in IC

标准类型：行业标准

标准状态：现行

发布日期：1997-06-17

实施日期：1997-10-01

中国标准分类号（CCS）：>>>>L5971