YS/T14-1991异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准号：YS/T 14-1991

标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1991-04-26

实施日期：1992-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

替代以下标准：被YS/T 14-2015代替