YS/T14-2015异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

标准号：YS/T 14-2015

标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

替代以下标准：替代YS/T 14-1991；

发布单位：工业和信息化部