YS/T24-2016外延钉缺陷的检验方法

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

标准号：YS/T 24-2016

标准名称：外延钉缺陷的检验方法

英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

替代以下标准：替代YS/T 24-1992

起草单位：南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部