YS/T24-1992外延钉缺陷的检验方法

本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连，本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度

标准号：YS/T 24-1992

标准名称：外延钉缺陷的检验方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1992-03-09

实施日期：1993-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被YS/T 24-2016代替

起草单位：L海有色金属研究所

发布单位：中国有色金属工业总公