YS/T26-1992硅片边缘轮郭检验方法

本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓

标准号：YS/T 26-1992

标准名称：硅片边缘轮郭检验方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1992-03-09

实施日期：1993-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被YS/T 26-2016代替

起草单位：洛阳单晶硅厂

发布单位：中国有色金属工业总公