YS/T936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

标准号：YS/T 936-2013

标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材

英文名称：Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>7715040镍和铬产品

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司等

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部