YS/T937-2013镍铂靶材

本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。

标准号：YS/T 937-2013

标准名称：镍铂靶材

英文名称：Nickel-platinum target

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>7715099其他有色金属产品

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

发布单位：工业和信息化部